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吉时利宣布新系统在200毫米晶片的测试时间内完成对300毫米的晶片测试

发布时间:2020-06-30 18:45:26 阅读: 来源:转子泵厂家

吉时利仪器公司(纽约证交所:KEI)宣布推出其S600系列的最新产品S680DC/R半导体参数测试系统。全新的SimulTest并行测试软件(专利尚在申请中)可以在一次探针接触中对多达9个器件进行同步测量,使用这个软件该系统可以在200毫米晶片的测试时间内完成对300毫米的晶片工艺进行测试。为了使并行程序设计更加简便,改进的SMU增加了更加快捷、更加灵活的数字通讯,处理能力也进一步得到了增强。这些SMU不仅保持了早前器件的超低电流和高功率的性能,还具备了与S600系列测试系统一致的测量功能。增强的AdapTest软件可选项为晶片测试过程增加了智能因素,使得S680DC/RF系统可以根据管芯测试结果自动实时改变测试计划。当对某种的测试结构进行测试的时候,该系统独特的RF测试特性使得它可以对不同的探针执行高达40GHz的同步独立DC和RF测试。该系统的单线300毫米工艺SECS/GEM自动功能完全符合SEMI和GJG工厂标准。其灵活的结构使得自动功能可以无缝的集成于每一个工厂的特殊运行。对现有S600系列系统在成本效率方面的升级增强了S680DC/RF系统的软件和硬件,这继续了该平台作为行业领先的资本器件在多代科技间的重复使用。因此,该系统可扩展的平台可以轻而易举的适应新的测量要求,如那些与减少设计规则、新的过程、新的材料以及新的器件相关的测量要求。应用背景。全球的半导体晶片制造商都使用吉时利的S600系列系统在整个产品工艺中对关键器件参数进行测量,以保证产品的性能和稳定性。它们被应用于众多的测试环境,包括工艺控制、工艺与器件的整合和优化、器件鉴定、晶片验收测试、甚至还用于器件模型和定性。但是,行业的发展趋势正逐渐聚焦于在测试成本一定的前提下提高测试灵敏性。这些发展趋势包括更大的IC密度、300毫米晶片上更多的IC、试样量的成比例增长、以及从产品组合转向成本/价格灵敏性更高的模拟以及混合信号器件。要提高此种组合的收益率,提高测试处理能力以及降低测试成本是至关重要的。S600系列测试装置一直结合了高速的处理能力、优异的测量完整性以及广泛的测试灵活性于一身。S680 DC/RF系统硬件和软件的升级不仅加强了这些性能,而且更进一步提高了测量的速度并降低了测试成本。通过最大化器件和测试程序的重复使用以及简化向新材料和新器件的转换,这些系统会使测试成本继续降低。新一代半导体技术节点的升级路径已经十分明了。由于S680DC/RF系统的软件结构与其它S600系列测试装置的软件结构相同,它还在最大限度上减少了增加新测试装置时需要进行的工程师和操作员培训.产品详情。为了创造S680DC/RF系统,吉时利以更加快捷、更加灵活的数字通讯方式对S600系列SMU进行了改进,以简化并行测试的程序设计。S600系列的每个测试管脚的电子线路设计通过尽可能减小寄生电容和泄漏电流的影响而提高了测试灵敏度。与其它测试装置不同的是,S680DC/RF系统对于所有的测试管脚(高达64)都提供相同的、高分辨率的测量路径,因此它是唯一可以为所有器件测量提供100aA和100nV测量分辨率的参数测试系统.S680DC/RF 系统的40GHz测试可选项使其可以对等效厚度的超薄栅极介质进行精确定性,揭示早前无法看到的结构细微之处。此外,它还为高性能BiCMOS工艺的过程控制提供了s-参数测量。通过不断为这些以及其它半导体器件提供精确测量,S680DC/RF系统将减去用户为了验证数据进行的重复测量,保证用户以最低的测试成本,在第一次测试就得到正确的结果.升级的吉时利测试环境软件KTE 5.1.0不仅保持了KTE最后一次全面发布时具有的功能,还可以根据用户和场地的要求提供增强和改进。KTE的核心和众多可选功能使得它可以在最短的测试时间内提供最高的数据完整性,且错误处理材料最少。测试结果可以轻松的输入到一系列使用广泛的器件模型提取软件,如BSIMPro、IC CAP以及UTMOST。KTE的安装、执行引擎以及数据分析界面一直被证明是所有参数测试系统中使用最简便的系统. KTE AdapTest软件模板增加了晶片测试过程的智能因素,使用它可以进一步提高测试处理能力。使得S680DC/RF系统可以根据测试结果实时自动改变测试计划,以减少对好晶片的非关键参数进行的测量。AdapTest适于处理类似自动一级过程诊断(出现未预料到的结果)的情况以及对已知的好点进行重新测量。使用此软件模板还可以对好的探针-接触点进行自动的电测检验,包括探针头清洁。S680DC/RF系统将提供一个与完全自动环境进行整合的完整操作模型,包括测试方法版本控制以及自动输出接口.对于特殊的测试要求,我们可以提供更多的仪器选择,包括远程测试头前置放大器、C-V表、脉冲发生器、LCR表、频率计数器以及频谱分析仪。这样的灵活性使得该系统可以应用于硅和III-V器件、RF-BiCMOS模拟工艺、最新的低漏电器件、先进的存储器件、新材料、以及无线通讯IC需要的低噪音测试.价格与供应。吉时利公司目前已经开始发运S680DC/RF系统。请联系工厂咨询价格事宜.

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